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叶 超
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个人信息

叶超,男,1965年5月生。1986年毕业于苏州大学物理系,2006年获得苏州大学凝聚态物理博士学位,现为物理国家级实验教学示范中心(苏州大学)副主任, “基础物理(实验)教学团队”国家级教学团队核心成员,苏州大学低温等离子体创新研究团队核心成员。

研究成果

主要从事低温等离子体物理、技术和凝聚态物理的研究。获2008年江苏省科技进步三等奖,获2009年、2011年江苏省高等教育教学成果二等奖。在Appl Phys Lett、Phys. Plasma、《物理》等国内外学术刊物上发表论文80多篇。编著《低温等离子体诊断原理与技术》(“十三五”江苏省高等学校重点教材)。

担任课程(选填)

教授课程《普通物理实验》(本科生)、《等离子体实验与诊断》(硕士生)   

研究领域
1、多频率磁控等离子体物理、技术、诊断及其在先进薄膜材料加工中的应用。2、超低k微纳电子薄膜材料物理及相关技术。